月刊JETI 2022年7月号

月刊JETI2022年7月号



特集  半導体に関する技術と取組み

超高平坦度シリコンウェーハ量産の実現

（シリコンテクノロジー）
半導体洗浄で使用する超純水および機能水について

･･････････････････････････････････････････････････････････二ツ木　高志
（オルガノ）
半導体製造装置向け特殊環境用軸受の開発技術動向

･･････････････････････････････････････････････････････････木村　和博
（ジェイテクト）
第5世代移動通信システム用ミリ波帯RFICとその半導体技術

･･････････････････････････････････････････････････････････山口　陽
（フジクラ）
◇高濃度・高純度オゾンだから実現可能なALD　成膜
バッチ式PO-ALD成膜装置
（明電ナノプロセス・イノベーション）
◇振動レスで精密な動きを実現〜半導体ウエハ搬送ロボット〜　
（安川電機）
◇自動マクロ検査装置「AMI-5700」
（ニコン）
ALDプロセスにおける3つの課題とその解決方法
ALD／ALE半導体加工処理における課題を解決するには


（スウェージロック）
特集  ３Dプリント技術

合金工具鋼の3D積層造形技術の研究

･･･････････････田野　誠，美佐田　泰治，長濱　貴也，三井　哲弥，星野　広行
（ジェイテクト）
3Dプリンタによる新しい金型製造技術の開発

･････････････････････････････････････････平石　誠，須藤　貴裕，青野　賢司　
（新潟県工業技術総合研究所）
鋳造分野におけるデジタルものづくり

･････････････････････････････････････久冨　茂樹，水谷　予志生，藤井　勝敏
（岐阜県産業技術総合センター）
残留応力の低減を目的とした金属3D プリンタ造形条件の検討

････････････････････････････････････････内藤　恭平，高岩　徳寿，石川　信幸
（栃木県産業技術センター）
下面照射型DLP式光造形法により作製したアルミナ造形体の特性

･････････････････････････････････････････････････････横田　耕三，片岡　良孝
（香川県産業技術センター）
◇熱伝導性に優れる金型向け3Dプリンタ用金属粉末DAP-AM HTC（TM）
（大同特殊鋼）
特集  コンクリート・土木関連技術

高速飛翔体衝突に対する繊維補強PFC（R）パネルの防護性能

･･････河野　克哉，別府　万寿博，岸良　竜，溝口　愛実，落合　昴雄，小亀　大佑
（太平洋セメント／防衛大学校）
ミキサ回転方向による高強度コンクリート練混ぜへの影響について

･････････････････････････････････････････････････････････篭谷　武，田村　彰啓
（日工）
液体系急結剤を用いた吹付けコンクリートの強度特性と
リバウンド特性に及ぼす影響

････････････････････････････････････････････････････････守屋　健一，田中　徹
（戸田建設）
ケーブルクレーン自動運転システムの開発

･････････････････････････････････戸田　泰彰，田中　勉，鍬崎　広和，井上　洸也
（西松建設）
NSカバープレートの商品紹介


（日鉄エンジニアリング）
無線・電池駆動の省電力構造物モニタリングシステムと
光ファイバーセンシングの長期安定動作フィールド実証実験


･･･････････････････････････････････････････････････････山道　昇，羽田　匡彦
（OKI）
特集  測定・計測・評価技術の動向

4Kカメラによるインフラ構造物の遠隔・非接触動的挙動観測

･･････野田　晃浩，丸山　悠樹，今川　太郎，日下　博也，松岡　弘大，上半　文昭
（パナソニック／鉄道総合技術研究所）
◇大深度先端位置計測システム
（安藤・間／システム建設／青山機工）
デジタル写真測量法による三次元形状の評価技術に関する研究

･･･高橋　靖，中部　昇，白川　正登，樋口　智，本田　崇，大川原　真，福田　拓哉
（新潟県工業技術総合研究所）
精密測定業務の高度化による企業支援の充実
ー機能性をもつ微細構造の三次元表面性状評価についてー


･･･････････････････････････････････････････････････････････････松島　康晴
（香川県産業技術センター）
特集  注目技術の動向

ハイブリッドシステム工法による管路の施工事例
ー長距離・急曲線対応型非開削工法


･････････････････････････････吉村　充基，末松　康成，上田　隆司，檜皮　安弘
（栗本鐵工所／ハイブリッドシステム工法協会）
連載・魔法使いの弟子
連載小説・中間世界

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